高分辨X射線顯微鏡是X射線成像術(shù)的一種,也是顯微成像技術(shù),即將微觀的、肉眼無法分辨看出的結(jié)構(gòu)、圖形放大成像以便觀察研究的器械。X 射線成像的襯度原理、設(shè)備的構(gòu)造與主要組成部件( 如X射線源、探測器等),但主要是從宏觀物體的成像( 如人體器管的醫(yī)學(xué)成像、機械制品的缺陷探傷、機場車站的安全檢查等) 出發(fā)的。宏觀成像與微觀成像有相通之處,如襯度原理、設(shè)備的主要組成部件等,但也有區(qū)別。
高分辨X射線顯微鏡的成像原理與光學(xué)顯微鏡基本上是一樣的,遵從幾何光學(xué)原理,其關(guān)鍵部件是成像和放大作用的光學(xué)元件,在光學(xué)顯微鏡中為透鏡。由于X 射線的波長很短,在玻璃和一般物質(zhì)界面上的折射率均接近1,故其成像放大元件不能用玻璃透鏡,一般用波帶片。
此外,它們同樣利用吸收襯度和位相襯度成像,同樣要求有強光源及像探測器。對光學(xué)顯微鏡,一般用肉眼觀察,故常加一目鏡起進(jìn)一步放大的作用。在高分辨X射線顯微鏡中當(dāng)然不能用眼晴直接觀察,可用CCD 等面探測器探測。顯微鏡的重要性能指標(biāo)兩者是相似的,有放大倍數(shù)、分辨力、像差等幾個。X射線顯微鏡的一般構(gòu)造:從強光源來的光束先經(jīng)聚焦元件( 在此為毛細(xì)管透鏡聚焦) 使光斑尺寸變小、亮度加大,然后射到樣品上,透過樣品的光,再經(jīng)成像放大元件( 在此為波帶片) 而到達(dá)探測器( 在此為閃爍體加CCD)。成像波帶片和探測器之間有一個Au 位相補償環(huán),在相襯成像時用。如吸收襯度成像,可移走。